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技術(shù)文章

介紹薄膜測厚儀的測試原理及操作方法

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   薄膜測厚儀是一種常用的薄膜厚度檢測方法,采用機(jī)械接觸式測量標(biāo)準(zhǔn),適用于2mm范圍內(nèi)各種薄膜、復(fù)合膜、紙張、金屬箔片等硬質(zhì)和軟質(zhì)材料厚度準(zhǔn)確測量,誤差小,操作簡單方便,滿足GB/T 6672《薄膜和薄片厚度測定 機(jī)械測量法》等標(biāo)準(zhǔn)。
  薄膜的厚度指的是基片表面和薄膜表面的距離。對于微電子薄膜而言,如光學(xué)薄膜,抗氧化薄膜,巨磁電阻薄膜,高溫超導(dǎo)薄膜等,其厚度是一個非常重要的參數(shù),直接關(guān)系到該薄膜材料能否正常工作。除此之外,薄膜的厚度也會直接影響到薄膜材料的力學(xué)性能,透光性能,磁性能,熱導(dǎo)率,表面結(jié)構(gòu)等。
  測試原理
  將預(yù)先處理好的薄型試樣的一面置于下測量面上,與下測量面平行且中心對齊的上測量面,以一定的壓力,落到薄型試樣的另一面上,同測量頭一體的傳感器自動檢測出上下測量面之間的距離,即為薄型試樣的厚度。
  薄膜測厚儀操作方法介紹
  根據(jù)國標(biāo)中的要求,對同一張薄膜選取10個測試點(diǎn),薄膜厚度測量方法如下:
  1、將兩個激光傳感器分裝在薄膜試樣的上下方,把傳感器固定在支架上。
  2、打開儀器,設(shè)置參數(shù),放置對比量塊,點(diǎn)擊“確認(rèn)”。
  3、取走滑塊,重新設(shè)置與步驟(2)相同的參數(shù),放入薄膜試樣。
  4、分別取10個不同的點(diǎn),位置盡量錯開,避免因距離太近影響數(shù)據(jù)。
  5、測量值通過串口傳輸?shù)接?jì)算機(jī),再通過在計(jì)算機(jī)上的測厚軟件進(jìn)行處理,得到目標(biāo)的厚度值。
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